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    2018-09-17  来自: 香港六合彩开奖结果129 浏览次数:138

    香港六合彩开奖结果129 www.kfxfu.tw 新乡切割机器人是一种在真空环境下任务的机器人,次要使用于半导体工业中,完成晶圆在真空腔室内的传输。真空机械手难出口、受限制、用量大、通用性强,其成爲制约了半导体配备零件的研发进度和零件产品竞争力的关键部件。而且国外对中国买家严加审查,归属于禁运产品目录,真空机械手已成爲严重制约我国半导体设备零件配备制造的“卡脖子”成绩。直驱型真空机器人技术属于原始创新技术。


      关键技术包括:


      (1)新乡香港六合彩开奖结果129新构型设计技术:经过构造剖析和优化设计,避开专利,设计新构型满足新乡切割机器人对刚度和伸缩比的要求;


      (2)大间隙真空直驱电机技术:触及大间隙真空间接驱动电机和高干净直驱电机展开电机实际剖析、构造设计、制造工艺、电机资料外表处置、低速大转矩控制、小型多轴驱动器等方面。


      (3)真空环境下的多轴精细轴系的设计。采用轴在轴中的设计办法,减小轴之间的不同心以及惯量不对称的成绩。


      (4)静态轨迹修正技术:经过传感器信息和机器人运动信息的交融,检测出晶圆与手指之间基准地位之间的偏移,经过静态修正运动轨迹,保证机器人地将晶圆从真空腔室中的一个工位传送到另一个工位。


      (5)契合SEMI规范的真空机器人言语:依据真空机器人搬运要求、机器人作业特点及SEMI规范,完成真空机器人公用言语。


      (6)牢靠性零碎工程技术:在IC制造中,设备毛病会带来宏大的损失。依据半导体设备对MCBF的高要求,对各个部件的牢靠性停止测试、评价和控制,进步机械手各个部件的牢靠性,从而保证机械手满足IC制造的高要求。


      新乡切割机器人是一种在干净环境中运用的香港六合彩开奖结果129。随着消费技术程度不时进步,其对消费环境的要求也日益苛刻,很多古代工业产品消费都要求在干净环境停止,干净机器人是干净环境下消费需求的关键设备。


      关键技术包括:


      (1)干净光滑技术:经过采用负压制尘构造和非挥发性光滑脂,完成对环境无颗粒净化,满足干净要求。


      (2)高速颠簸控制技术:经过轨迹优化和进步关节伺服功能,完成干净搬运的颠簸性。


      (3)控制器的小型化技术:依据干净室建造和运营本钱高,经过控制器小型化技术减小干净机器人的占用空间。


      (4)晶圆检测技术:经过光学传感器,可以经过机器人的扫描,取得卡匣中晶圆有无缺片、倾斜等信息。


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